真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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真空手套箱
真空手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称手套箱、惰性气体保护箱、干箱等。主要对O2，H2O，有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。
技术指标:1、水含量小于1ppm； 氧含量小于1ppm。2、过渡舱可承受：真空度≥100pa。3、密闭性：泄漏率≤0.05Vol%/h
想了安装环境编辑电：需要220V/50Hz；水：需将普通自来水接入净化系统的冷却水进口，将水箱加满为止，不需长期打开阀门；气：需要提供惰性气体（N2或Ar）或混合气（N2或Ar占90%，屏蔽手套箱哪家好，H2占10%），如没有此混合气体也可以用N2或Ar和H2的纯净气体按比例进行混合代替。
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化学实验手套箱
化学实验过程中，经常会释放出损害人体健康的有害气体，严重危害了实验人员的身体健康和大气环境。如在实验室中进行操作，人们可以采用安装通风橱柜等排风装置的方式，来尽可能地避免实验人员吸入有害气体。但如果教师要在授课的课堂上做化学演示实验，化学演示实验时所产生的有害气体，就要逸放至教室的空间内，便造成了对教室空气的污染，从而影响师生的身体健康。此外，目前的通风装置都只有通风换气功能，不能完全避免对人体的伤害而且不能针对有害气体进行净化处理，使有害气体直接排出室外，成为空气环境的污染源。
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